Slurry và pad đánh bóng điện tử 3M

Vật liệu slurry và pad đánh bóng điện tử 3M

Phân loại và đặc điểm

Slurry hỗn hợp (Composite Slurries)

• Là dung dịch mài mòn chứa hạt mài và chất nền thích hợp.
• Có loại DT-50, DT-100, DE-100… phù hợp cho nhiều bước mài/đánh bóng khác nhau.
• Dùng kết hợp với pad để tạo áp lực và kiểm soát lực mài.

Pad đánh bóng (Polishing Pads)

Bao gồm các pad như HT-250, HT-315-E, HT-800-PC…

Có cấu trúc vật liệu thích hợp để truyền dẫn hạt slurry trong quá trình mài mà vẫn giữ tính ổn định.

Được thiết kế để tương thích với các slurry tương ứng (coarse → fine).

Ứng dụng trong ngành điện tử

• Hoàn thiện bề mặt wafer, chip, IC: loại bỏ vết xước, tăng độ bóng và chất lượng quang học.
• Gia công các bề mặt kim loại, hợp kim trong linh kiện điện tử: giảm lỗi, tăng độ ổn định.
• Các linh kiện quang học, sensor: đòi hỏi độ nhẵn rất cao để tránh sai lệch về ánh sáng.
• Dùng trong dây chuyền sản xuất công nghiệp, nơi yêu cầu đồng đều và kiểm soát cao.

Lợi ích khi dùng slurry và pad đánh bóng điện tử

• Kiểm soát độ nhẵn, độ đồng đều và sai số bề mặt rất chính xác.
• Tối ưu hóa quy trình: chuyển đổi giữa các cấp độ mài nhanh chóng, giảm thời gian chu kỳ.
• Giảm tạp chất, tăng tỷ lệ sản phẩm đạt chuẩn (yield).
• Hỗ trợ nhiều bước đánh bóng, từ mài thô đến hoàn thiện mịn.