3M Trizact Pad Conditioner T Series | Công nghệ CVD vi tinh thể tiên tiến

Giải pháp đánh bóng tiên tiến cho quy trình CMP bán dẫn – 3M T Series

3M T Series là dòng Trizact Pad Conditioner thế hệ mới được phát triển dành riêng cho quy trình CMP (Chemical Mechanical Polishing) trong sản xuất bán dẫn. Với công nghệ phủ kim cương CVD vi tinh thể tiên tiến, sản phẩm mang lại hiệu suất ổn định, độ chính xác cao và khả năng làm việc bền bỉ vượt trội so với các thiết kế truyền thống.

Đặc điểm nổi bật của 3M T Series

• Công nghệ microreplication độc quyền từ 3M giúp định hình bề mặt mài chính xác, duy trì độ ổn định và độ đồng đều trong suốt quá trình đánh bóng.
• Tuổi thọ kéo dài và tốc độ loại bỏ vật liệu ổn định hơn, mang lại hiệu suất cao và chi phí vận hành thấp hơn so với các dòng pad conditioner cũ.
• Tốc độ mòn pad cao hơn có kiểm soát, giúp duy trì hiệu quả làm việc và giảm chi phí vòng đời sản phẩm.
• Kích thước hạt kim cương CVD lớn hơn, tăng cường khả năng kích hoạt pad và cải thiện độ bền bề mặt mài.
• Công nghệ phủ CVD kim cương vi tinh thể mới, giúp kiểm soát độ phẳng và hạn chế khuyết tật micro/macro so với hạt mài truyền thống.
• Bề mặt cắt không chứa kim loại, phù hợp cho các node tiên tiến và quy trình nhạy cảm với ô nhiễm kim loại.
• Tương thích với tất cả lớp phủ 3M™ CMP Pad Conditioner Coatings, chỉ cần điều chỉnh tối thiểu trong quy trình hiện có.
• Khi kết hợp cùng lớp phủ chuyên dụng của 3M, có thể giảm rò rỉ kim loại đến 99% mà vẫn duy trì độ phẳng, độ sắc và hiệu suất đánh bóng tối ưu.

Ứng dụng của 3M T Series

• Sử dụng trong quy trình CMP bán dẫn tiên tiến, đặc biệt ở các node nhạy cảm với kim loại như logic và bộ nhớ.
• Thích hợp cho các công đoạn yêu cầu kiểm soát độ phẳng và độ sạch cao, giúp giảm nguy cơ trầy xước và ô nhiễm bề mặt.
• Ứng dụng hiệu quả trong sản xuất wafer tiên tiến, nơi đòi hỏi độ đồng đều và tính ổn định tuyệt đối giữa các chu kỳ đánh bóng.

Tổng kết

3M T Series là lựa chọn hoàn hảo cho các nhà sản xuất bán dẫn mong muốn tối ưu chi phí, nâng cao độ tin cậy và duy trì hiệu suất CMP vượt trội.

Mọi thông tin chi tiết vui lòng liên hệ qua hotline 0369.574.828 để được hỗ trợ sớm nhất!